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激光作用在晶圓上通過熱光源瞬時熱燒蝕并氣化或通過冷光源打斷材料分子鍵，在晶圓表面上留下相應的字符、文字或圖案等信息，晶圓打標具有自動上下料，自動定位，自動打標功能

廣泛應用于LED基片、藍寶石基片、半導體硅片等高要求高精細度打標行業。